PLATIT PL2011 – 用于大尺寸工件的涂层设备
PLATIT PL2011为您提供了高装载量的电弧涂层设备。一个定制设计的转车有5种不同配置方式，实现了高度灵活的装载，同时保持涂层的质量。小直径或大直径或混装的大批量工件都可以在一炉中实现涂层。
PL2011是针对PVD涂层工件直径达1423mm的锯片设计的。转车载重可达1800 Kg。
PL2011基于PL1011的双脉冲功能 。与标准工艺相比，这使涂层沉积速度提高了30%。由于脉冲阴极使得电弧分布得以改善，PVD涂层更加平滑。在合金靶材上使用电弧电源，提高了沉积速率和涂层均匀性，确保靶材均匀的蚀刻，延长了靶材的使用寿命。
技术
- 6支平面电弧阴极，其中4支配有脉冲电弧电源
运用到的刻蚀技术
PLATIT PL2011涂层设备有三种蚀刻技术：
- 2支带挡板的阴极和2支作为阳极出现的阴极实现LGD®(侧向辉光放电)
- Ar 辉光放电的等离子体刻蚀
- 金属离子刻蚀 (Ti, Cr)
装载和运行周期
- 最大涂层区域：ø1400 x H700mm
- 最大载重：1800 kg
- 2-5 炉/天
软件
- PLATIT的智能系统 (PC和PLC系统)
- 使用和维护简单
- 现代化的用户界面，触摸屏菜单导航
- 实时流程可视化，包括数据记录和数据管理
- 手动和自动的过程控制
- 远程诊断和维护
该PVD设备设计有两个腔室门，以提供最佳的进出腔室方案：快速阴极交换，简化机器维护简化批次管理，因为一个完成的批次可以通过一个门移除，下一批立即通过另一个门加载。
另外轨道系统确保转车推车始终与腔室正确对齐，从而使装卸重量达到1800公斤的工件变得容易。定制的转车推车可以通过一个按钮来调整高度。
转车的设计允许五种不同的配置:
- 10 轴 = ø250mm
- 8 轴 = ø350mm
- 6 轴 = ø460mm
- 3 轴 = ø650mm
- 1 轴 = ø1423mm (1 棵行星树)
设备尺寸
- 外观尺寸：8000 x 5800 x 2350mm (宽×深×高)