一些关于PVD涂层结构的有趣事实
涂层设备可以生产各种各样的涂层。根据应用的不同，定义了靶材材料的类型以及涂层结构。例如，与手表或功能部件上的溅射涂层相比，工模具涂层需要不同的涂层结构。
使用PLATIT，您可以在PVD涂层的不同涂层结构之间进行选择：
- 单层结构
- 梯度层结构
- 多层结构
- 纳米多层结构
- 纳米复合结构
- 三重膜结构
- 四重膜结构
单层结构
单层 (MB) 涂层由连续的单层氮化物涂层组成。这种单层涂层可以建立在结合层上(例如，TiN+AlTiN-MB)。如果结合层和单层没有区别，则在PVD涂层过程中靶材材料没有改变。
梯度层结构
涂层中的成分随着梯度结构(G)的变化不断变化。涂层由结合力和核心层组成。
典型的梯度涂层是TiAlN/AlTiN-G。
多层结构
多层结构(ML)包括结合层和核心层。在结合层之后，连续沉积了几个(多个)层。这些多层结构形成一个 “三明治“结构，吸收子层中的裂纹。涂层更坚硬，但不像单层结构涂层那么坚硬。
在多层中每个单层的厚度通常为50 - 100nm，例如AlCrN-ML。
纳米多层结构
纳米多层结构(NL)是多层膜的一个更精细的版本，其层单层厚度小于20 nm。涂层硬度取决于涂层厚度的调制周期。要增加硬度，调制周期应设置在10 nm 左右。
PLATIT所有使用金属靶材的涂层都具有NL结构。
纳米复合结构
纳米复合结构(NC)由结合层和核心层组成。核心层由两相组成：硬的纳米晶颗粒(如TiN, TiAlN或AlCrN晶粒)嵌入到非晶的SiN基质中。柱状晶生长被阻止，形成了精细的晶体/非晶结构。
nACo就是一个例子。
沙滩比对试验说明了可以通过纳米复合结构提高涂层硬度。一般情况下，在干的沙滩上脚会嵌入沙子中，然而脚却不会嵌入进湿的沙滩。因为沙粒的间隙都被水分填满，所以表面会有很高的抗压能力，也就更坚硬。
四重膜结构
在三重结构的基础上，PLATIT的四重结构还包含了有特殊用途的第四层。这些涂层包括结合层、梯度核心层、多层核心层和纳米复合顶层。
一个典型的例子是TiXCo4。