PLATIT Pi411 PLUS – für grenzenlose Flexibilität
Mit ihrem modularen Aufbau und der breiten Range verfügbarer Technologien ist die PLATIT Pi411 PLUS die flexibelste PVD-Beschichtungsanlage der Welt. Die Basis-Konfiguration als Arc-Beschichtungsanlage mit drei rotierenden Kathoden in der Tür können Sie vor Ort modular anpassen. Sie können sie mit einer Arc- oder Sputter-Zentralkathode sowie mit PECVD-, und OXI-Prozessen aufrüsten. Einzigartig für die Beschichtungsanlage ist auch die LACS®-Hybrid-Technologie, die Ihnen das gleichzeitige Beschichten mittels Arc- und Sputter-Technologien ermöglicht.
Vielfältige Konfigurationsoptionen und die hohe Flexibilität auf Basis der Rundkathoden erlauben Ihnen die Entwicklung kundenspezifischer PVD-Beschichtungen auf höchstem Leistungsniveau. Diese Beschichtungsanlage ist daher die ideale Wahl für Kunden, die keine technologischen Kompromisse eingehen möchten und Wert auf ein Maximum an Flexibilität und Performance legen.
Technologie
Bei der PVD-Beschichtungsanlage PLATIT Pi411 PLUS haben Sie mehrere Technologie-Optionen zur Auswahl:
ECO
Basis-Konfiguration: 3 LARC®-Kathoden (LAteral Rotating Cathode) in der Tür zur Arc-Beschichtung
PECVD (DLC2)
Für a-C:H:Si-Beschichtungen
TURBO
ECO-Konfiguration + CERC®-Kathode (CEntral Rotating Cathode) mit Arc-Beschichtungstechnologie für erhöhte Produktivität sowie hochkomplexe Schichten
OXI
Für oxidische PVD-Beschichtungen in Korund-Struktur
SCIL®
Hochleistungs-Sputtering aus der zentralen Kathode
Hybrid-LACS®
Simultane Arc- und Sputter-Prozesse mit LARC®-Kathoden in der Tür und zentraler SCIL®-Kathode
Ätzverfahren
Bei der PLATIT Pi411 PLUS Beschichtungsanlage können mehrere Ätzverfahren zum Einsatz kommen, die Ihnen verschiedene Vorteile bieten:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
Beladung und Zykluszeiten
- Beschichtungs-Volumen: max. ø540 x H500mm
- Beschichtungs-Höhe mit definierter Schichtdicke: max. 414mm
- Beladung: max. 200kg
- Chargen/Tag: 4-5
Modulare Karussellsysteme
- 1 bis 14 Achsen
Software
- PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System)
- Einfache Bedienung und Wartung
- Modernes User-Interface mit Menüführung auf Touchscreen
- Prozessvisualisierung in Echtzeit inkl. Datenaufzeichnung und Datenverwaltung
- Manuelle und automatische Prozesskontrolle
- Ferndiagnose und Fernwartung möglich
Dimensionen
- Footprint: 2950 x 1900 x 2400mm (B x T x H)