PLATIT Pi411 PLUS, per una flessibilità illimitata
Grazie al suo design modulare e all'ampia gamma di tecnologie disponibili, PLATIT Pi411 PLUS è l'unità di rivestimento PVD più flessibile al mondo. La sua configurazione di base come unità di rivestimento adArco con tre catodi rotanti nella porta può essere adattata in modo modulare in loco. Essa può essere aggiornata con un catodo centrale Arco o Sputter, nonché con processi PECVD e OXI. Un'altra caratteristica esclusiva di questa unità di rivestimento è la tecnologia ibrida LACS®, che consente il deposito simultaneo di rivestimenti utilizzando entrambe le tecnologie arco e sputter.
Le molteplici opzioni di configurazione e l'elevata flessibilità basata sui catodi rotanti consentono di sviluppare rivestimenti PVD personalizzati al massimo livello di prestazioni. Questa unità di rivestimento è quindi la scelta ideale per i clienti che non vogliono scendere a compromessi sul piano tecnologico e apprezzano la massima flessibilità e le prestazioni.
Tecnologia
L'unità di rivestimento PVD PLATIT Pi411 PLUS offre diverse opzioni tecnologiche tra cui scegliere:
ECO
Configurazione di base: 3 catodi LARC® (LAteral Rotating Cathode) nella porta per deposizione ad Arco
PECVD (DLC2)
Per i rivestimenti a-C:H:Si
TURBO
Configurazione ECO + catodo CERC® (CEntral Rotating Cathode, catodo rotante centrale) con tecnologia di rivestimento ad Arco per una maggiore produttività e per rivestimenti altamente complessi
OXI
Per rivestimenti PVD di ossido in una struttura di corindone
SCIL®
Tecnologia di Sputtering ad alte prestazioni indotto dal catodo centrale
LACS® ibrido
Processi simultanei di Arco e Sputtering con catodi LARC® nella porta e catodo SCIL® centrale
Processi di etching
Con l'unità di rivestimento PLATIT Pi411 PLUS è possibile utilizzare diverse tecnologie di etching, che offrono diversi vantaggi:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma etching con argon, scarica a bagliore
- Etching con ioni metallici (Ti, Cr)
Carico e tempi di ciclo
- Volume di rivestimento massimo: ø540 x A500mm
- Altezza massima del rivestimento con spessore del rivestimento definito: 414mm
- Carico massimo: 200kg
- Cariche/giorno: 4-5
Sistemi a caroselli modulari
- da 1 a 14 assi
Software
- SmartSoftware di PLATIT (sistema PC e PLC)
- Semplicità di funzionamento e di manutenzione
- Interfaccia utente moderna con menu di navigazione su touch screen
- Visualizzazione del processo in tempo reale, compresa la registrazione e la gestione dei dati
- Controllo manuale e automatico del processo
- Possibilità di diagnostica e di manutenzione a distanza
Dimensioni
- Ingombro: 2950 x 1900 x 2400mm (L x P x A)