Pi1511
Pi1511是一台大容量的PVD涂层设备。它在门上配置了三支旋转的PLATIT LARC®XL阴极，在腔室后方配置两支平面电弧阴极。柱状阴极与高性能平面阴极的结合，使沉积的PLATIT特征涂层具有高度的灵活性。LARC®XL阴极具有很长的使用寿命，从而保证了单支刀具上的低涂层成本。
运用到的技术：
- 在门上的3 支 LARC® XL (侧向旋转超长阴极) 和在腔室后方的2 支 平面电弧阴极
- 用于磁场自动调节的 MAC-3C 磁弧约束-线圈电流补偿
- 快速靶材更换
- 沉积PLATIT特征涂层
运用到的刻蚀技术：
- LGD® (侧向辉光放电)
- Ar 辉光放电的等离子体刻蚀
- 金属离子刻蚀 (Ti, Cr)
装载和运行周期：
- 最大涂层区域 [mm]：ø715 x H805
- 获得均匀涂层厚度的最大涂层高度：711mm
- 最大载重：400kg
- 3 炉/天
转车系统模式：
- 1-12轴转车
软件：
- 使用和维护简单
- PLATIT的智能系统 (PC和PLC系统)
- 现代化的触摸屏控制系统
- 通过用户界面的统计和帮助功能
- 工艺参数和流程的数据记录以及实时显示
- 手动和自动的过程控制
- 远程诊断和维护
设备尺寸：
- 外观尺寸 [mm]：W4900 x D2200 x H2450
下载：
Platit
PLATIT是一家独立的家族企业，总部位于瑞士塞尔扎克(Selzach)，是一家领先的高科技PVD和PECVD涂层设备制造商，涂层设备应用于工具和机械零部件领域。
联系
PLATIT AG Headquarters
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CH-2545 Selzach
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