ARCO con catodi rotanti

Rispetto ai catodi convenzionali, i catodi rotanti presentano diversi vantaggi:

• Flessibilità nella programmazione della composizione del rivestimento di target non legati
• Un'area di superficie effettiva più ampia (pi x d) a una lunghezza target costante h (pi x d x h) prolunga la durata del target
• Eccellente controllo e stabilità del processo
• Adesione del rivestimento migliorata grazie alla tecnica LGD® etching (Lateral Glow Discharge)
• Distribuzione verticale omogenea dello spessore del rivestimento nella camera