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π311

基本信息

• 紧凑型硬质涂层系统

• 基于PLATIT LARC® 和CERC®

 (侧向旋转阴极技术和中心旋转阴极技术)

• 工具钢(TS) 上沉积温度高于230 °C,

 高速钢 (HSS)上的涂层温度350 - 500°C

 硬质合金 (WC)上的涂层温度 350 - 550 °C

• 用户可将设备重构为不同的阴极组合:

 A: 3个 LARC® 阴极和1个CERC® 阴极

 B: 3个 LARC® 阴极

• π311-ECO: 设备只配有3 支LARC侧向旋转阴极

涂层

• 单层,多层,纳米梯度,纳米多层,纳米

 复合结构, TripleCoatings以及这些结构的组合

• 主要的标准涂层: AlTiN, nACo, nACRo

• 可实现所有Triple Coatings3

• 可实现部分QUAD Coatings4

硬件

• 设备外观尺寸: W2350 × D1660 × H2300 mm

• 真空腔室内部尺寸: W580 × D566 × H580 mm

• 最大可涂工件尺寸: Ø485 × H480 mm

• 可用的离化区域: Ø485 × H440 mm

• 最大基底载荷: 150 Kg

• 真空系统配有涡轮分子泵

• 革命性的柱状旋转阴极系统配有 3支 LARC® /1支 CERC®

• 磁控线圈控制(MACC) 靶面ARC弧斑运动

• 熟练操作者换靶时间大约为:15-30 分钟 / 阴极

• VIRTUAL SHUTTER®

 TUBE SHUTTER® 柱状挡板技术用于所有的 LARC® 阴极

• LGD®: LARC® 侧向旋转阴极辉光放电

• 等离子体刻蚀:

• 气体离子刻蚀 (Ar/H2); 辉光放电

• 金属离子刻蚀 (Ti, Cr)

• Pulsed BIAS 脉冲偏压供给 (350kHz)

• 6 (+1) 气体通道, 6个MFC控制

• 加热器上使用的特殊的灰尘过滤网 (20 kW)

• 电力连接:3× 400V, 100A, 50-60Hz

 使用π311-13 模式: ma×. 45kW

 使用π311-03 模式: ma×. 40kW

• 在客户现场可升级为 π311+DLC和 π311+O×I

电气部分和软件

• 工业用PC和 PLC 控制系统

• 控制系统使用触屏操作菜单

• 可手动和自动控制程序

• 实时记录程序运行当中的各个参数值

• 远程诊断系统

• 不需具备编程知识即可进行程序控制

• CD-ROM光盘操作手册

生产运行周期

计算时间基于沉积标准厚度的涂层刀具:

• 圆柄状刀具(2 μm): ø 10 × 70 mm, 504pcs: 4.0h

• 刀片(3 μm):    ø 20 × 6 mm, 2940 pcs: 4.25h

• 滚刀 (4 μm):   ø 80 × 180 mm, 28 pcs: 6.0h

A:π311-13 配置

3×LARC : 侧向旋转阴极靶材尺寸: Ø96 × 510 mm

1× CERC®:

中心旋转阴极靶材尺寸: Ø110 × 510 mm

 可用的离化区域:Ø485 - Ø185 mm x H440 mm

 生产柄状切削刀具和刀片时具有最高生产效率。

3个阴极可同时运作:

 阴极 2 和4之间可以互相转换; 甚至在沉积过程中两种操作模式也可互换。

B:π311-03 配置(π311-ECO)

3×LARC : 侧向旋转阴极靶材尺寸: Ø96 × 510 mm

无 CERC®: 中心旋转阴极

可用的离化区域: Ø485 x H 440 mm

用于沉积体积较大的工件,

尤其是模具和机械部件。

π311厚度分布

涂层应用:

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