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π111

基本信息

• 紧凑型硬质涂层系统

• 基于PLATIT LARC® 技术 (侧向旋转阴极技术)

• 工具钢(TS) 上沉积温度高于230 °C,

高速钢 (HSS)上的涂层温度350 - 500°C

硬质合金 (WC)上的涂层温度 350 - 550 °C

硬质涂层

• 单层,多层,纳米梯度,纳米多层,纳米复合结构以及这些结构的组合

• 主要的标准涂层: TiN, AlTiN-G, nACo®

• 可实现部分 TripleCoatings

硬件

• 设备外观尺寸: W1890 x D1500 x H2120 mm

• 真空腔室内部尺寸: W450 x D320(460) x H615 mm

• 最大可涂工件尺寸: Ø355 x H500 mm

• 可用的离化区域: Ø355 x H460 mm

• 最大基底载荷: 100 Kg

• 真空系统配有涡轮分子泵

• 革命性的柱状旋转阴极系统配有 2支 LARC®:

 • LARC® 靶材尺寸: Ø96 x 510 mm

 • 磁控线圈控制(MACC) 靶面ARC弧斑运动

 • 双层水冷不锈钢腔室和阴极

 • 熟练操作者换靶时间: 大约为15 分钟 / 阴极

• VIRTUAL SHUTTER® 虚拟挡板和TUBE SHUTTER® 柱状挡板技术

• LGD®: LARC® 辉光放电

• 等离子体刻蚀:

 • 气体离子刻蚀 (Ar/H ); 辉光放电2

 • 金属离子刻蚀 (Ti, Cr)

• Pulsed BIAS 脉冲偏压供给 (350kHz)

• 在电控柜配有空调 • 5 (+1) 气体通道, 5 支MFC控制

• 配有灰尘过滤器的特殊加热器(10 kW)

• 电力连接: 3x 400V, 100A 外用保险丝 50-60Hz, 30kW

电气部分和软件

• 工业用PC和 PLC 控制系统

• 强大的操作软件

• 控制系统使用触屏操作菜单

• 可手动和自动控制程序

• 实时记录程序运行当中的各个参数值

• 远程诊断系统

• 不需具备编程知识即可进行程序控制

• CD-ROM光盘操作守则

• 在客户现场可升级至 111+DLC 和 111+OXI

生产运行周期

计算时间基于沉积标准厚度的涂层刀具:

• 圆柄状刀具(2 μm): ø 10 x 70 mm, 288pcs: 3.5 h

• 刀片(3 μm):    ø 20 x 6 mm, 1680pcs: 3.75 h

• 滚刀(4 μm):    ø 80 x 180 mm, 20pcs: 5.5 h

相比较80而言

• >50%的理想的可沉积区域

• 几乎相同的外观尺寸大小

• 相同的程序运行周期

• TUBE SHUTTER® 柱状挡板技术可以保护两个阴极不受污染

• 加热器上具备灰尘过滤系统

• 转车驱动最大装载量(>150kg)

• 简单步骤就可以升级至 DLC2- 和 OXI- 装置,并可沉积相应涂层

• 良好的厚度均一性

• LARC® 侧向旋转阴极- 辉光放电

涂层应用:

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