PVD-Serienanlagen
Unsere PVD-Serienanlagen eignen sich ideal zum Beschichten von Werkzeugen und Bauteilen in marktüblichen Grössen. Sie ermöglichen kurze Beschichtungszeiten mit hochqualitativen Schichten und sind flexibel mit unterschiedlichen Schichtstrukturen programmierbar. Die Anlagen können PVD- und PECVD-Abscheidungsverfahren für diverse Nitrid-, oxidische sowie DLC-Beschichtungen ausführen.
Pi111
- 2 x LARC® PLUS-Kathoden zur ARC-Beschichtung
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø353 x H498
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 414mm
- Max. Beladung: 160kg
- 4 - 5 Chargen/Tag
- Footprint [mm]: B2000 x T1550 x H2250
Pi411
- ECO Basis-Konfiguration mit 3 x LARC®-Kathoden zur ARC-Beschichtung erweiterbar mit PECVD / CERC® / OXI / SCIL® / LACS®
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø540 x H500
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 414mm
- Max. Beladung: 200kg
- Bis zu 5 Chargen/Tag
- Footprint [mm]: B2950 x T1900 x H2400
PL711
- 2 x Planare SPUTTER-Kathoden mit HiPIMS-Technologie
- PA3D-Modul
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: 4x ø225 x H800
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 550mm
- Max. Beladung: 250kg
- 2 Chargen/Tag
- Footprint [mm]: B3450 x T2250 x H2350
PL1011
- 4 x Planare Kathoden mit ARC-Technologie
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø715 x H805
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711mm
- Max. Beladung: 400kg
- 3-4 Chargen/Tag
- Footprint [mm]: B4000 x T2250 x H2350
Pi1511
- 3 x LARC® XL- und 2 x Planare Kathoden zur ARC-Beschichtung
- MAC-3C für automatisierte Magnetfeldanpassung
- Max. Beschichtungsvolumen [mm]: ø715 x H805
- Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 711mm
- Max. Beladung: 400kg
- 3 Chargen/Tag
- Footprint [mm]: B4900 x T2200 x H2450
Vergleich all unserer PVD-Serienanlagen
Pi111
Pi411
PL711
PL1011
Pi1511
Max. Beschichtungs-Volumen [mm]
ø 353 x
H 498ø 540 x
H 500ø 540 x
H 800ø 715 x
H 805ø 715 x
H 805Max. Beladung [kg]
160
200
250
750
750
Beladung und Zykluszeiten bei Schaft-Werkzeugen (2 μm): ø 10 x 70 [mm]
288 Stück,
3 - 5 h504 Stück,
≥ 4,5 h540 Stück,
≥ 8 h,
mit DLC21008 Stück,
≥ 5,5 h1080 Stück,
7 hARC-Technologie
2 x LARC® PLUS-Kathoden
3 x LARC®-Kathoden,
erweiterbar mit 1 x CERC®-Kathode-
4 x Planare Kathoden, erweiterbar mit Double-Pulsed-Option
3 x LARC® XL-Kathoden,
2 x Planare KathodenSPUTTER-Technologie
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Erweiterbar mit 1 x zentraler SCIL®-Kathode
2 x Planare Kathoden
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Hybrid-LACS®-Technologie mit simultanen ARC- und SPUTTER-Prozessen
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Ja, erweiterbar
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DLC
Erweiterbar für DLC1
DLC1, erweiterbar für PECVD (DLC2) und für ta-C gesputtert (DLC3)
PECVD (DLC2) und ta-C gesputtert (DLC3)
DLC1
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OXI
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Erweiterbar für oxidische Schichten
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Plasmanitrier-Funktion
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Ja, erweiterbar
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