Was ist eine Beschichtung
Eine Hartstoffbeschichtung ist ein dünner schützender Film zur Verbesserung der Oberflächeneigenschaften eines Grundmaterials,
IN BEZUG AUF:
- Plastische Härte
- Oxidationswiderstand
- Reibung
- Bruchfestigkeit
- Chemische Stabilität
Beispielsweise ermöglicht die Beschichtung auf einem Schneidwerkzeug eine markante Erhöhung der Schnittgeschwindigkeiten, folglich eine Steigerung der Produktivität und eine längere Lebensdauer.
Ablauf Beschichtungsprozess
1
Beladen
Beschichtungskammer wird beladen
2
Evakuieren
Beim Abscheiden von PVD-Schichten ist ein Hochvakuum erforderlich.
Die Evakuierung findet in PLATIT-Anlagen in zwei Schritten statt:
- Die Drehschieberpumpe erzeugt einen Vordruck in der Kammer (von 100 bis 10 -2 mbar)
- Die Turbomolekularpumpe erzeugt ein Hochvakuum von ungefähr 1 x 10 -5 mbar
3
Aufheizen
Kammer wird aufgeheizt, Prozesstemperaturen liegen bei ca. 150 - 500°C
4
Plasma-Ätzen
PLATIT-Anlagen arbeiten mit drei unterschiedlichen Ätzverfahren:
- LGD® (Lateral Glow Discharge)
- Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung
- Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr)
5
Schichtabscheidung
Schichtabscheidung mittels PVD- (ARC-, SPUTTER- oder Hybrid-LACS®-Technologie) oder PECVD-Prozessen
6
Kühlen
Kühlen der Beschichtungskammer
7
Entladen
Beschichtungskammer wird entladen
Ätzen mit LGD®
Lateral Glow Discharge ist das patentierte Ätzverfahren in unseren Beschichtungsanlagen
Sogar komplizierte Oberflächen und Kavitäten werden neben Schneidkanten und Ecken (z.B. von Walzfräsern, Stempeln und Matrizen) mit LGD® erreicht, da der Elektronenfluss zwischen zwei Kathoden ein Plasma mit hoher Ionendichte im Drehgestell erzeugt.
Verwendung von Shutter:
- Die Targets werden gereinigt, indem ein ARC hinter dem Shutter auf der Target-Oberfläche gezündet wird, ohne die Werkzeuge dabei zu kontaminieren
- Erst nach der Target-Reinigung wird der Shutter geöffnet, wodurch ideale Bedingungen für optimale Schichthaftung gegeben sind
